1. Elstar 电子枪：Schottky 热量场发射器，灯丝可用3年，具有高至 60 A/cm2 束电流密度和高至 65 nA 的最大束电流。

2. Tomahawk Ga离子枪，离子源可使用1000小时。

3. 配备Pt气体沉积源。

4. 扫描电子显微成像配备多种探头，适用于不同的样品和工作模式：

ETD和TLD，可分别探测最高采集效率的SE（二次电子）和BSE（背散射电子）；ICD可更高效率地探测BSE（背散射电子），使用于低电压；可伸缩的DBS探头，适用于高电压，原子序数大的样品；可伸缩的STEM探头；配合减速模式（BD）使用的MD探头，位于物镜镜筒中。

5. 离子束成像配备ETD和ICE探头。

6. 配备UC mode 过滤系统，能有效提高分辨率，适合在小束流时应用。

7. 两种不同成像模式：

Mode I—物镜视野大，最低可放大到几十倍，产生的磁场位于物镜内部，适用于寻找样品、快速成像；

Mode II—物镜视野小，最低是放大几千倍，产生的磁场一部分在物镜外面，成像的分辨率更高。

8. 扫描电子高分辨率成像：（TLD探头、UC-mode ON）分辨率≤ 0.6nm @2kV @最佳工作电压@最佳工作距离，600000×-900000×放大倍率。

离子束高分辨率成像：（ICE探头）分辨率≤ 4nm @30kV，2500000×放大倍率。

9. Charge Neutralizer：中和充电现象，提高减薄精度。

10. Nav-Cam：专门的光镜成像，获得样品的导航图，能够快速找到目标区域。

11. Plasmer cleaner：对腔室进行清洁。

12. Easylift：能够精准控制Easylift探针的移动，实现透射样品制样。

13. 高度精确的5 轴机动样品台：

XY：150 mm，压电陶瓷马达驱动；Z：10 mm，电机马达驱动；T：- 10°- + 60°；R：n x 360° （无休止），压电陶瓷马达驱动；倾斜精度 (50° - 54°)：0.1°；X、Y 可重复性：1.0 μm。

14. Quorum PP3010T 冷冻传输系统，配备样品制备腔室，具有镀膜和升华功能。

15. Amira软件进行连续切片图像的三维重构和分割渲染。