NPGS为直写式EBL系统，它以既有的SEM等为基础，外加电子束控制系统，通过电脑界面控制电镜中电子束的矢量扫描，可以直接刻写图形。NPGS系统不影响原SEM本身的图像观测等功能。功能强大、操作简便、使用灵活。NPGS是研究半导体技术、光电子技术、微机电系统及微结构研发的重要工具，并可用于多种微器件的制作。欢迎大家报名！
培训仪器：NPGS电子束曝光系统
培训内容：仪器基本操作使用
培训时间：2023年8月24日（周四）14:00-16:00
培训地点：清华大学医学科学楼C117
联系方式：杨老师 010-62799346
报名方式：
访问链接：http://sapphireking.mikecrm.com/8isfUbd
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备注：
1. 本次培训费用，校内外均免费，用户可自备样品。
2. 本学期细胞平台会根据用户需要提供多次小型上机培训，为保证培训效果，每次培训人数上限为4名，报完为止。
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